Испытательная система для старения Hatina WLBI

термическаярабочих характеристикдля ускоренного старения

Обзор продукта
Hatina WLBI — это решение уровня wafer-level для Burn-In (WLBI) и HTOL, разработанное для силовых устройств на пластинах. Компактная тестовая камера (номинальная площадь 560×560×550 мм; в спецификации D×W×H 560×560×560 мм) подключается к стандартным wafer prober для обеспечения Burn-In целой пластины с высоким параллельным пропуском. Нагреватели встроены в каждый DUT для точного локального термоконтроля с низким энергопотреблением (безпечный подход), что снижает энергопотребление и занимаемую площадь и упрощает интеграцию в автоматизацию.

Ключевые преимущества

• Поддержка силовых технологий: Si, SiC и GaN
• Совместимость с пластинами 6, 8 и 12 дюймов
• Обеспечивает Burn-In целой пластины и ускоренные тесты надежности
• Высокий параллельный пропуск для экономичных испытаний жизненного цикла
• Интеграция со стандартными платформами wafer prober

Функции / Возможности

• Компактная камера для wafer-level Burn-In, разработанная для подключения к стандартным wafer prober
• Высокий параллельный пропуск: до 1600 точек тестирования одновременно
• Электрические пределы на точку: до 1,2 кВ и 2 мА
• Поддерживает функциональный Burn-In, HTGB и HTRB
• Распределенные встроенные нагреватели в каждом DUT для точного энергосберегающего термоконтроля
• Конструкция для чистых помещений и готовность к интеграции в автоматизированные линии

Замечания по параметрам / вариантам

• Func_Test: Yes
• HTGB: Yes
• HTRB: Yes
• BVDSs: возможно (будущая версия ПО uIDE)
• IDSx: возможно (будущая версия ПО uIDE)
• Vth: возможно (будущая версия ПО uIDE)
• До 1600 кристаллов тестируется за один касание пластины (3 энд-пойнта на точку)

Технические характеристики

• Количество тестовых точек: до 1600
• Габариты (D × W × H): 560 мм × 560 мм × 560 мм (спецификация); компактная камера в обзоре: 560×560×550 мм
• Источник высокого напряжения Drain: -50 В до 1,2 кВ
• Источник напряжения Gate: -50 В до +50 В
• Ток при функциональном тесте: 2 мА
• Ток при HTRB тесте: 2 мА
• Ток при HTGB тесте: 2 мА
• Поддерживаемые типы тестов: функциональный burn-in, HTGB, HTRB, WLBI (полная пластина)
• Совместимость с пластинами: 6, 8 и 12 дюймов