Линейная пластина нанопозиционирования COR-PS

пьезоэлектрическая1 осьвысокой точности

Компания Phi Drive разработала ряд нанометрических пьезоэлементов позиционирования для промышленных, исследовательских и метрологических областей рынка, где необходимы небольшие и очень малые перемещения. Достичь нанометрического или субнанометрического смещения не так просто, и эти системы часто очень чувствительны к внешним шумам. Ступени из ассортимента продукции COR-PS были задуманы таким образом, чтобы быть устойчивыми к источникам шума благодаря этому: Гибридная компоновка с высокой инерционностью в стали и эргологией, дающая устойчивость к механическим колебаниям; Электроника, специально разработанная для минимизации шума и повышения устойчивости к внешним помехам Все каскады COR-PS основаны на пьезоэлектрическом приводе и механизмах изгиба, усиливающих смещение. Нанометрическое разрешение: 15 до 0.18 нм 110 мкм до 160 мкм Диапазон перемещения Очень высокая максимальная нагрузка: 5 кг Ошибка линейности: 0.027% до 0.0022% Динамический диапазон: 0-100 Гц до 0-700 Гц Опция высокого вакуума