Машина для нанесения покрытий ALD C30H ALD

париленовая

Идеально подходит для лабораторных испытаний и промышленного производства мелких деталей Идеально подходит для 3D компонентов сложной формы ALD осаждение Al2O3 и TiO2 Удаленный источник плазмы Газовая панель с 4 линиями подогреваемых прекурсоров по умолчанию, больше - по запросу. Габаритные размеры (Д х Ш х В) - 2250 х 1160 х 1450 мм Вес - 350 кг Размер камеры - ∅ 295 x 370 мм Размер инструмента - ∅ 260 x 320 мм Максимальная нагрузка на оснастку - 100 кг Грузоподъемность димера - 150 г Производительность насоса - 40 м3/ч Необходимое электропитание - 3 x 400 В + N + PE - 50 Гц 3 x 25A - 15 кВт Термизированная камера - Диапазон температур: 20 - 80°C Электропитание: 3 x 400V + PE - 50Hz 3x 14A - 9кВт Удаленный плазменный Источник - Частота: 1,7 - 3 МГц Мощность: 3000 Вт На месте RF ёмкостный Источник плазмы - - Стандартный обрабатываемый материалы - Парилен: C, D, N, F-VT4, F-AF4 ALD: Al 2 O 3 , TiO Процесс температура - Парилен: комнатная температура ALD: 60 - 80°C