Эксимерная лазерная система LineBeam

импульснаятвердотельнаяультрафиолетовая

Системы LineBeam - это оптическая технология, обеспечивающая массовое производство задних панелей LTPS на больших подложках с высочайшей производительностью. Обеспечивают профили линейного луча длиной до 1500 мм для панелей размером до Gen 10.5. Однородность луча по короткой и длинной оси обеспечивает максимальную пропускную способность и использование луча. Превосходная стабильность импульса и высокая глубина резкости обеспечивают большое технологическое окно. LINEBEAM - НЕКОТОРЫЕ КЛЮЧЕВЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ Воспользуйтесь преимуществами профиля луча LineBeam в виде верхней шляпы с превосходной однородностью по короткой и длинной осям при короткой длине волны 308 нм или 355 нм.