Серия Turbo — это новая линейка турбомолекулярных вакуумных насосов от компании Busch. Турбомолекулярные вакуумные насосы были разработаны специально для создания высокого вакуума в промышленных условиях.
Безмасляный
Турбомолекулярные вакуумные насосы предназначены для создания высокого вакуума до 1•10-10 гПа (мбар), а также для процессов, где требуется высокая производительность или большой поток газа. Перемещение газа производится без использования рабочих жидкостей.
Ориентированность на область применения
Даже при самых высоких нагрузках и нежелательных утечках газа высокая производительность турбомолекулярных вакуумных насосов остается постоянной. Положение установки вакуумных насосов может быть любым. Компактная конструкция ротора не имеет аналогов в этом классе насосов и сочетает в себе высочайшую мощность и минимальные габариты насоса.
Эксплуатационная надежность и безопасность
Блок привода и система управления полностью встроены в корпус насоса. Используются стандартное газовое уплотнение и точное, гладкое соединение.
Области применения
Турбомолекулярные вакуумные насосы идеально подходят для применения в самых различных областях, где требуется высокий вакуум, например:
вакуумные печи;
обработка поверхностей;
установки для нанесения покрытий;
физическое осаждение из паровой фазы (PVD);
покрытие тонкой пленкой.