Винтовой вакуумный насос COBRA BC 0100 F

сухойкомпактный

Высокоэффективный: экономичный, с длительным сроком безотказной работы и низким энергопотреблением Простой в обслуживании: большие межсервисные интервалы Надежный: надежный в эксплуатации Гибкий в использовании: ориентированный на область применения Бесшумный: уровень шума < 58 дБА COBRA BC 0100 F представляет собой безмасляный винтовой вакуумный насос серии COBRA BC, в котором использованы компактные современные технологические решения для работы в загрузочных шлюзах с дополнительными технологическими возможностями, предназначенные для ответственных процессов производства солнечных, плоскопанельных и полупроводниковых систем. Этот вакуумный насос обладает высокими характеристиками по удалению порошка, основанными на уникальной винтовой конструкции. Оснащенный эффективными двигателями и новейшей возможностью переключения в режим ожидания насос COBRA BC 0100 F способен обеспечить непревзойденную экономию электроэнергии. Благодаря малой занимаемой площади и возможностям энергосбережения общая стоимость владения таким вакуумным насосом серии COBRA будет весьма низкой. Области применения Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD) Быстрая термическая обработка Химическое осаждение из паровой фазы при субатмосферном давлении (SACVD) Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD) Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD) Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD) Осаждение атомных слоев (ALD) Вакуумный шлюз высокой производительности