Оптика PylonMet Leybold система sputtering магнетрона гибкого и разностороннего высок-объём batch-type для покрытия трехмерных частей.
Принципиальная схема машины позволяет гибкой конфигурации и разностороннему раскрытию в обширном диапозоне применения. Это включает реактивное и non-reactive магнетрон sputter низложение с inter-pole цели (IPT). Предварительный источник низложения химического пара mid-frequency (MF) плазм-увеличенный (PECVD) позволяет низложению прозрачно top-coats и увеличено обтирать-сопротивляйте слоям. Насосная система эффективного вакуума, включая эффективное cryo-свертывает спиралью систему и гибкая система процесс-газ-управления, более дополнительные ключевые положения.
Гибкая конфигурация для превосходной многосторонности покрытия
- Гибкая конфигурация PylonMet делает его соответствующей для пользы с разнообразие материалами sputtering, включая алюминий, хромий, нержавеющую сталь, медь, серебр и много другие. Она производит различные цветы на 2 и трехмерные части в 24-часовой продукции. Самый высокий уровень повторимости обеспечивает однородное качество.
Высокие спасибо урожайности и надежности шарнирн-тип парадный вход и легкий доступ
- Шарнирн-тип парадный вход позволяет высоки производительные обрабатывать и нагружать/разгржая последовательности. Субстраты нагружены к опоре легк-к-доступа, или выборочно, к системе планетарн-субстрат-приспособления.
Автоматический вариант нагрузки и разгржать ключевой фактор в высокой надежности системы.
---