Анализатор подземного кислорода SiBrickScan (SBS) Silicon Ingot Analyzer

концентрациидля кремниевых слитков

SiBrickScan (SBS) является FTIR oнлайн системой для количественного определения внутрипорового кислорода в целых слитках кремния, точный профиль концентрации вдоль продольной оси. Получение информации без распиливания пластин или прочей подготовки образцов для испытаний является основным преимуществом и большой экономией: анализируйте отдельные слитки перед распиливанием и оптимизируйте процесс кристаллизации Si! Уникальные особенности SBS: • Высокая чувствительность, достижимый предел обнаружения кислорода < 2 ppma • Высококачественная калибровка, базирующая на ASTM/SEMI 1188 • Доступно для квадратных и цилиндрических слитков различных диаметров • Инновационная высокочувствительная траектория луча и встроенный эталонный образец • Интуитивный и удобный пользовательский интерфейс • Автоматизированная оценка данных • Индустриальный прочный дизайн с точным линейным приводом • ИК Детектор, нет необходимости в жидком азоте