Описание
Серии CMS наполняют газом массовый измеритель прокачки для Hydogen/гелия
Обзор
CMS измеритель прокачки массы газа a высоки - надежный который использует датчик µF Yamatake (MicroFlow) как свой чувствительный элемент. Датчик µF MEMS термальное масс-пропускает датчик cpable измерять ultra-low расходы потока. Внедрение датчика µF и предварительной технологии расчета канала достигало высокой точности и высокого rangeability на низкой стоимости.
---