Печатная машина для полупроводниковой пластины HYCON XW

со струйной печатьюавтоматическая

Гибкая обрабатывающая ячейка предназначена для печати с лицевой или обратной стороны (бампинг или покрытие обратной стороны пластины) на круглых пластинах. Система состоит из двух основных модулей: загрузочного блока и системы печати. Загрузочный блок, в свою очередь, состоит из трех компонентов: системы разгрузки магазина, роботизированного блока и станции предварительного выравнивания Система разгрузки магазина оснащена двумя позициями магазина, из которых пластины подаются в машину. Трехосевой робот с вакуумным концевым эффектором обеспечивает бесстрессовую транспортировку пластин. С помощью гибкого захвата можно использовать различные концевые эффекторы даже для очень тонких или изогнутых пластин. После извлечения пластины из магазина она помещается на встроенную станцию предварительного выравнивания с распознаванием плоских или надрезов для последующей печати. Затем пластина помещается вафельным роботом в вакуумное печатное гнездо, после чего опускается и фиксируется. После транспортировки печатного стола в принтер фидуциалы обнаруживаются движущейся камерой, а экран или трафарет точно настраиваются. Теперь отпечатанные пластины можно транспортировать обратно в магазин или извлекать по отдельности с помощью системы выдвижных ящиков. По желанию, обработанные пластины могут автоматически подаваться на другие машины с помощью транспортной системы. Последующие технологические этапы, такие как термообработка, могут быть интегрированы в загрузочную ячейку или на ней. Для идентификации любого текста на пластинах или 1D/2D-кодов имеются системы распознавания текста (OCR) или считывания с камеры. В качестве опций возможна связь с ячейкой по протоколу SECS-GEM или подключение к пользовательским системам MES.