Внутренняя структура proprietarily проста и предотвращает закупорить и сцепление в применениях slurry CMP. Пневматически проконтролированный для того чтобы обеспечить регулировки в давлении. В случае отказа, клапаны отключили подачу.
Идеальные применения включают:
DI Вода, химическая подача
---