Фильтры капсулы CSE компактные собрания капсулы. Они начаты для фильтрации фоторезиста, разработчика, etchant стриппера и DI воды в процессе фотолитографии, так же, как для фильтрации небольших химикатов серии тома.
Особенности и преимущества
Конструкция ● компактная и крепкая
Сопротивление давления ● высокое
● низко задерживает том
дизайн ● O-ringless
Дизайн ● устранимый, легкое изменение-вне
Качество
Капсулы ● произвели в регулируемой окружающей среде
● изготовило согласно ISO9001 аттестовало систему управления качеством
---