Програмное обеспечение состоит из главным образом программы которая обеспечивает пользовательский интерфейс, и различный вход-выход машины действует, вместе с хотя бы 2 архивами (DLL) которые обеспечивают обрабатывать спектра и вычисления ZAF для принятых спектров на SEM приспособленные с детектором EDS.
Програмное обеспечение бежит на стандартных ПК и операционных системах (Windows XP, 7, etc.). Полный анализ ZAF возможен, с или без стандартов, используя внутреннюю базу данных основных параметров (FP) как показатели поглощения, выходы флюоресценции, вероятности перехода, etc. там также включенный модуль дисплея спектра.
Програмное обеспечение также включает прием спектров используя оборудование Amptek DPP. Основные методы и результаты архив (так называемый архив EDX) можно setup и повторно использовать для по заведенному порядку анализа, или элементов можно выбрать для каждого нового анализа спектра.
Програмное обеспечение может проанализировать или кусковые материалы или однослойный тонкопленочный материал. Анализ можно сделать без стандартов если результаты можно нормализовать до 100%. При использовании стандартов, толщина может также быть решительно или результаты не должны быть normalized.
---