Оптоволоконный ОЕМ-модуль Luxtron m920 Series

Оптоволоконные датчики температуры для OEM-производителей от -100 до 330ºC Четырехканальные полупроводниковые модули Advanced Energy Luxtron m924 и двухканальные m922 предназначены для контроля температуры электростатических патронов, камер и других устройств на травильном и пластинчатом производстве -Смешивание и согласование компонентов Работает с токовыми полупроводниковыми датчиками марки Luxtron Фтороптические зонды и удлинители волоконно-оптических кабелей -Встроенные калибровочные таблицы соответствуют специальным датчикам АЭ для высокоточных измерений -Достижимая точность до ±0,05°C (зависит от датчика) Обзор Полное OEM-решение Luxtron® серии m920 построено с использованием блока электроники в сборе с двумя платами и датчиками. Основная плата содержит оптоволоконные каналы измерения температуры, цифровой выход (RS232 ASCII и RS485 Modbus) и подключение питания. Плата аналогового выхода обеспечивает выход от 0 до 10 В или от 4 до 20 мА и устанавливается над основной платой. В качестве опции также предлагается металлический корпус. В системе серии m920 используется технология Fluoroptic®. Основная плата серии m920 формирует измерительный сигнал от фтороптических зондов и сообщает калиброванную температуру в систему управления изготовителя комплексного оборудования. Преимущества -Высокая точность и диапазон высоких температур для различных процессов травления и изготовления подложек -Мониторинг более быстрых темпов с высокой частотой дискретизации -Улучшение результатов измерения температуры с помощью этого малошумного решения -Воспользуйтесь преимуществами высокой надежности при низких коэффициентах отказов -Получить поддержку для интеграции и проектирования датчиков по всему миру