Этапы вакуума Zaber вертикальные (X-VSR-SV) с встроенными регуляторами совместимы для окружающих сред высоких (торр. 10^-6) и низкого уровня (торр. 10^-3) вакуума. Встроенный регулятор позволяет маргаритк-приковать с другими продуктами Zaber, и требует, что только 4 провода feedthrough контролируют все блоки в шлейфовом подключении через серийный порт (с переходником X-PIB). X-VSR-SV способно на скорости до 48 mm/s и до 200 n толкают с емкостью нагрузки 10 kg.
---