Низковакуумный координатный стол KDT310 series

XYмеханизированный2 оси

- Вакуум: все диапазоны HV / UHV до 10E-8 мбар - Смазочная жидкость до 10E-8 - Макс. температура запекания: 100°C - Проем по X с 90 x 90 мм, по Y 150 x 150 мм Система позиционирования с диафрагмой была скомбинирована из двух линейных этапов для создания точного и сверхмощного XY-этапа для применения в высоком и сверхвысоком вакууме. Его концепция с профильными направляющими и высокоточными шариковинтовыми парами обеспечивает исключительную точность при оптимальном использовании монтажного пространства. Его можно легко комбинировать с поворотным этапом DT155, что обеспечивает широкий спектр применения. Области применения Прецизионное позиционирование для лабораторных приложений, микроскопии и полупроводниковой технологии, исследований в сверхвысоком вакууме и под экстремальным ультрафиолетовым излучением, подготовки образцов, сканирования образцов, обработки образцов, биочипов, инспекции пластин, выравнивания пластин, настройки камеры, исследования материалов, анализа материалов, лучевых линий, ускорителей, синхротронов