Многоосевая система нанопозиционирования SMARPOD P-SLC-17

шестиногаяс параллельной кинематической схемойпод высоким вакуумом

Среднеразмерный SMARPOD на базе ступеней SLC-17 в параллельной ориентации, способный позиционировать полезную нагрузку весом до 5 Н. SMARPOD P-SLC-17 основан на другой механической конструкции в отношении ориентации горизонтально установленных ступеней. По сравнению с круговым SMARPOD почти такого же размера, P-SLC-17 предлагает гораздо больший диапазон перемещения без диафрагмы, которая имеется в круговых конструкциях. Основанный на ступенях серии SLC-17, SMARPOD P-SLC-17 также доступен в версиях для высокого и сверхвысокого вакуума, а также в версии, изготовленной из полностью немагнитных материалов. Механический Ход [мм] - 48 (X); 28 ... 48 (Y); ≤ 9 (Z) Ход [ - ≤ 28 (Θx); ≤ 26 (Θy); ≤ 20 (Θz) Макс. Нормальная сила [Н] - 5 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5 Размеры [мм] - 110 x 80 Высота платформы над землей [мм] - 67,5 Вес [г] - 300 ... 2000 Замкнутый контур Типы датчиков - S; SC Наименьший инкремент [нм] - 1 Наименьшее приращение [мкрад] - 1 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200 Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV / UHVT (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM)