Ротационный координатный стол Q-632 Motion®

пьезоэлектрическийкомпактныйнизковакуумный

- Всего 32 мм в ширину и 8 мм в высоту - Прямое измерение положения с помощью инкрементного энкодера с разрешением 0,75 мкрад (опция) - Минимальное инкрементное перемещение до 3 мкрад - Диапазон вращения >360° - Скорость 45 °/с Пьезоинерционные приводы - это компактные и доступные по цене приводы на основе пьезоэлементов с относительно высокой силой удержания и практически неограниченным диапазоном перемещения. Принцип инерционного привода основан на одном пьезоэлектрическом актуаторе, который управляется с помощью модифицированного пилообразного напряжения, обеспечиваемого специальной электроникой привода. Привод медленно расширяется и перемещает бегунок. Из-за своей инерции бегунок не может следовать за последующим быстрым сокращением привода и остается на месте. При рабочей частоте до 20 кГц приводы воздействуют непосредственно на бегунок и достигают скорости макс. 45 °/s Области применения Микросборка. Фотоника. Оптическое выравнивание. Микроскопия. Приборы для лучевых линий. Полупроводниковая технология. Тестирование.