для условий глубокого вакуума до 10^ (- 9) mbar
перемещение 8 mm на следе ноги 38 x 42 mm
свободная апертура 10 mm для прохода луча
Миниатюрные этапы translastion со свободным dia 10mm отверстия и piezo электрическим инерциальным приводом. Вариант UHV MS 38.
---