Это электронный спектрометр Оже с полусферическим анализатором, обеспечивающим высокую производительность анализа состояния химических связей на нано- и микроучастках, и полевой эмиссионной электронной пушкой, также используемой для EPMA, поскольку она может подавать большой, стабильный электрический ток Высокоточная эвцентрическая ступень образца позволяет проводить ранее невозможный анализ изоляторов. Это в сочетании с ионной пушкой плавающего типа обеспечивает универсальность работы с любыми образцами, такими как металлы и изоляционные материалы, для получения информации о составе и химической информации.
Особенности
Высокочувствительный анализатор с высоким разрешением
Использование анализаторов с переменным энергетическим разрешением позволило проводить анализ состояния химической связи в режиме высокого разрешения, а также высокоскоростное картирование в режиме высокой чувствительности.
Полевая эмиссионная электронная пушка Шоттки
Электронная пушка, позволяющая получать изображения с пространственным разрешением 3 нм, а также проводить высокопроизводительный анализ состояния химической связи благодаря большому электрическому току до 200 нА. Это возможно благодаря использованию технологии электронной оптики, которую компания JEOL разрабатывала в течение многих лет, в электронных пушках Шоттки с полевой эмиссией, используемых в РЭМ и ЭМПА.
Эвцентрический штатив для образцов
Применение эвцентрического штатива, необходимого для аналитического устройства с несколькими оптическими системами, обеспечивает высокую точность воспроизведения центра высоты. Свободно выбираемый наклон до 90° делает возможным сложный анализ изоляторов.
---