Источники электронного пучка / источники питания для электронно-лучевого осаждения, используемые для создания различных типов пленок, включая оптические пленки и электродные покрытия.
Особенности
Особенности метода осаждения электронным пучком
Термическая эффективность достаточно высока благодаря нагреву от прямого облучения электронным пучком на осаждаемый материал. Можно испарять различные материалы, включая металлы с высокой температурой плавления, оксиды, соединения и сублимационные материалы.
Поскольку материал для осаждения нагревается непосредственно в охлаждаемом водой тигле(*), не происходит реакции лодки или тигля, как при резистивном или индуктивном методах нагрева.
В некоторых случаях используется футеровка очага
Поскольку имеется высокоскоростной выходной контроль, можно точно контролировать толщину пленки.
По сравнению с методами напыления и CVD скорость создания пленки является главной особенностью. Это также полезно для создания толстых покрытий толщиной 1 мкм и более.
Особенности электронно-лучевых источников JEOL
[Оксиды.]
Угол падения луча перпендикулярен материалу осаждения, а пятно луча высокой энергетической плотности представляет собой почти идеальный круг. Поскольку функция высокоскоростной развертки является стандартной, он подходит для осаждения на сублимационные материалы и оксиды с низкой теплопроводностью и высокой температурой плавления. Можно получить превосходные расплавленные остатки, что позволяет получить равномерное, воспроизводимое распределение толщины пленки на большой площади.
[Металлы.]
Доступен выбор из широкого спектра тиглей, что позволяет проводить многотиповое, крупнообъемное и высокоскоростное осаждение. Также имеется электронная пушка, совместимая с процессом lift-off для ограничения повышения температуры во время создания пленки.
---