Датчик для контроллера толщины пленки кристаллического осциллятора, включающего 6 или 12 кристаллов
Используется для измерения толщины пленки и скорости образования пленки при обработке тонких пленок.
При выходе из строя одного кристалла датчик можно использовать как есть, переключаясь на следующий кристалл.
Поскольку апертура детектора находится в фиксированном положении, нет необходимости изменять коэффициент оснастки при каждой смене кристалла.
Существует 2 типа головок датчика: плоская и 45°. Они могут использоваться выборочно в зависимости от положения установки.
Подходит для длительных и высокообъемных процессов вакуумного напыления или напыления.
---