RecipeDirector:
Автоматическое создание рецептов CD-SEM на основе проектных данных
DesignGauge-AnalyzerPlus:
Станция расширенного анализа данных для изображений CD-SEM
- Использование проектных данных в RecipeDirector обеспечивает автоматическую установку координат точек адресации, точек автофокусировки и измерительных курсоров без специальных знаний и навыков
- Это позволяет сократить время создания рецептов и повысить доступность CD-SEM
---