Линейный координатный стол METIS XYZT

механизированный2 осис воздушным амортизатором

Эта платформа гибридная плоскостная платформа механических/воздуха подшипника предназначенная для того чтобы шагнуть и просмотреть применения. Платформа 6 осей двигая в направления x, y, z и тэты. Динамическая плоскостность над полным перемещением так же, как двухнаправленная повторимость определяющие параметры. Эта платформа в настоящее время использована внутри: - Применения управления производственным процессом вафли как критический размер и метрология тонкого фильма. - Размечать вафли - Отжиг лазера вафли термальный Оно могло также быть использовано в задних машинах литографированием конца линии (aligners маски) и в некотором применении вафли dicing. Эта платформа отличает: - Плоскостность движения, который дал подшипник воздуха - Неограниченное вращение в тэте - Двойная интеграция z: Грубое перемещение для нагружать/разгружая и точное перемещение для adjustement фокуса - Buit-в компенсаторе силы тяжести в z (патент заявлен) - Коррекция рыскания может быть сделана немножко переносить моторы Y1 и Y2 - Смогите более в дальнейшем быть интегрировано с активной системой изоляции полно контролируемой ETEL - Перемещения в x и y можно сделать более длиной с некоторыми ограничениями на представлении Основные спецификации: - Полный ход: 320 mm на XY x 12 mm для z - Скорость: 1,2 m/s для XY, 0,1 m/s для z и 15,7 rad/s для t - Ускорение: 1,2 g для XY, 0,2 g для z и 104,7 rad/s2 для t - Стабильность положения: ±25 nm для XY, arcsec ±15 nm для z и ±0.2 для t - Двухнаправленная повторимость: µm ±0.4 для XY, µm ±0.3 для z и arcsec ±2 для t